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发明名称 Vorrichtung für die Erkennung von Vergrösserungsfehlern in einem optischen Abbildungssystem.
摘要
申请公布号 DE3788158(T2) 申请公布日期 1994.05.19
申请号 DE19873788158T 申请日期 1987.05.12
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN 发明人 BOUWHUIS, GIJSBERTUS, NL-5656 AA EINDHOVEN;AKKERMANS, ANTONIUS H.M., NL-5656 AA EINDHOVEN;VAN DE LOOY, GUIDO C.R.M., NL-5656 AA EINDHOVEN
分类号 G01M11/02;G03B27/32;G03B27/34;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 G01M11/02
代理机构 代理人
主权项
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