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发明名称
Compound semiconductor device and method of surface treatment of such a device.
摘要
申请公布号
EP0404565(B1)
申请公布日期
1994.05.18
申请号
EP19900306788
申请日期
1990.06.21
申请人
MITSUBISHI KASEI CORPORATION
发明人
NOGUCHI, MASAHIRO, C/O MITSUBISHI MONSANTO CHEM.CO;IBUKA, TOSHIHIKO, C/O MITSUBISHI MONSANTO CHEM.CO
分类号
H01L21/318;H01L33/10;H01L33/22;H01L33/30;H01L33/36;(IPC1-7):H01L33/00;H01L23/29;H01L31/021
主分类号
H01L21/318
代理机构
代理人
主权项
地址
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