发明名称 Compound semiconductor device and method of surface treatment of such a device.
摘要
申请公布号 EP0404565(B1) 申请公布日期 1994.05.18
申请号 EP19900306788 申请日期 1990.06.21
申请人 MITSUBISHI KASEI CORPORATION 发明人 NOGUCHI, MASAHIRO, C/O MITSUBISHI MONSANTO CHEM.CO;IBUKA, TOSHIHIKO, C/O MITSUBISHI MONSANTO CHEM.CO
分类号 H01L21/318;H01L33/10;H01L33/22;H01L33/30;H01L33/36;(IPC1-7):H01L33/00;H01L23/29;H01L31/021 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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