材料表面改性用电子束蒸发金属离子源

摘要

材料表面改性用电子束蒸发金属离子源属于离子束对材料表面改性装置技术领域。本发明由放电室1、阳极2、阴极3、磁场线圈4及5、坩埚6、放电室底座7、绝缘子8、屏蔽罩9、坩埚座10、屏栅11、加速栅12、热屏蔽13、14及15、阴极杆16、阴极绝缘子17、阴极盖18组成。材料蒸汽的形成采用装在放电室内的聚焦电子束加热系统，并采用横向引出离子束，实现了能对大工件进行表面改性，不污染离子源，引出多种高熔点材料强离子束流的发明目的。

主权项

1、一种电子束蒸发金属离子源，它由放电室，阳极，阴极(由顶部放入)，引出系统(双栅及三栅系统)，坩锅及上下两个磁场线圈组成，其特征是材料蒸汽的形成采用装在放电室内的聚焦电子束加热系统。