发明名称
摘要
申请公布号 JPH0638393(B2) 申请公布日期 1994.05.18
申请号 JP19860010685 申请日期 1986.01.21
申请人 发明人
分类号 H01J37/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
地址