Metrological apparatus.,申请号EP19890201143-传众专利搜索

发明名称	Metrological apparatus.
摘要
申请公布号	EP0335474(B1)	申请公布日期	1994.05.18
申请号	EP19890201143	申请日期	1987.02.26
申请人	RANK TAYLOR HOBSON LIMITED	发明人	LANE, HUGH ROGERS;ONYON, PETER DEAN
分类号	G01B7/008;G01B7/28;G01B7/34;G01B21/20;G01B21/30;(IPC1-7):G01B7/00	主分类号	G01B7/008
代理机构		代理人
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