发明名称 PRESSURE REGULATING METHOD FOR VACUUM PUMP
摘要
申请公布号 JPH06137268(A) 申请公布日期 1994.05.17
申请号 JP19920290474 申请日期 1992.10.28
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 KAWAI TOMOJI;SUZUKI YOSHIHISA
分类号 F04B37/16;F04C25/02;(IPC1-7):F04B37/16 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
主权项
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