| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR POLISHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06134666(A) |
申请公布日期 |
1994.05.17 |
| 申请号 |
JP19920286358 |
申请日期 |
1992.10.23 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKIMOTO MASAFUMI;DEGUCHI AKINOBU |
| 分类号 |
B23Q15/22;B23Q11/00;B24B41/04;B24B47/10;B24B49/10;(IPC1-7):B24B41/04 |
主分类号 |
B23Q15/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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