发明名称 MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06136528(A) 申请公布日期 1994.05.17
申请号 JP19920307828 申请日期 1992.10.23
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 HAMADA HIROICHI;MAKI KOICHIRO
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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