| 发明名称 |
DEVICE FOR GROWING SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06135791(A) |
申请公布日期 |
1994.05.17 |
| 申请号 |
JP19920288837 |
申请日期 |
1992.10.27 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
KONO JUN;TATSUMI MASAMI;SAWADA SHINICHI |
| 分类号 |
C30B15/04;C30B15/12;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/12 |
主分类号 |
C30B15/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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