发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06132542(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920281672 申请日期 1992.10.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HARADA SHIGERU;INOUE MICHIO
分类号 H01L21/314;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788;H01L29/784 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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