| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06132487(A) |
申请公布日期 |
1994.05.13 |
| 申请号 |
JP19920279918 |
申请日期 |
1992.10.19 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ISHIDA MASAHIRO;HONDA HIROMI;UGA KIMIHARU;ISHIGAKI YOSHIYUKI |
| 分类号 |
H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/06 |
主分类号 |
H01L21/8249 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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