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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06132324(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920283236 申请日期 1992.10.21
申请人 FUJITSU LTD;KYUSHU FUJITSU ELECTRON:KK 发明人 KUMASEGAWA YASUO
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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