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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06132524(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920304870 申请日期 1992.10.16
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 ARIMOTO MAMORU
分类号 H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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