发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06132402(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920283373 申请日期 1992.10.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 HIRANO HIROSHIGE
分类号 H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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