发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF METAL ELECTRODE USED FOR SAME
摘要
申请公布号 JPH06132435(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920279629 申请日期 1992.10.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YONEDA YOSHITADA
分类号 H01L23/48;(IPC1-7):H01L23/48 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人
主权项
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