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发明名称 FORMATION OF METAL PATTERN
摘要
申请公布号 JPH06132316(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920283326 申请日期 1992.10.21
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 INOGUCHI KAZUYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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