发明名称 CHEMICAL RECOVERING SYSTEM OF WET CLEANER
摘要
申请公布号 JPH06132272(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920277583 申请日期 1992.10.16
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKIZAWA HIROSHI
分类号 B08B3/14;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/14
代理机构 代理人
主权项
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