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发明名称 PROJECTION EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06132199(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920304552 申请日期 1992.10.16
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 INOUE HIROYUKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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