发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06132201(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920277002 申请日期 1992.10.15
申请人 JEOL LTD 发明人 NISHINO TERUHIDE
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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