发明名称 POSITIONING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06131028(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920302898 申请日期 1992.10.14
申请人 NIKON CORP 发明人 HASEGAWA TSUTOMU
分类号 G05D3/12;G05B19/416;(IPC1-7):G05B19/407 主分类号 G05D3/12
代理机构 代理人
主权项
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