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发明名称 ARC SUPPRESSION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06132095(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920235443 申请日期 1992.08.11
申请人 LEYBOLD AG 发明人 GETSUTSU TESHIYUNAA
分类号 C23C14/34;H01J37/32;H02H7/00;H05H1/36;(IPC1-7):H05H1/36 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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