| 发明名称 |
DISPOSITIF D'APPLICATION DE MICRO-ONDES ET REACTEUR A PLASMA UTILISANT CE DISPOSITIF. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2689717(B1) |
申请公布日期 |
1994.05.13 |
| 申请号 |
FR19920004079 |
申请日期 |
1992.04.03 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
CHARLET BARBARA |
| 分类号 |
H01J37/32;H05B6/70;(IPC1-7):H05B6/80;F27D11/12;F27B17/00;H05H1/46 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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