发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06132522(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920278958 申请日期 1992.10.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KATSUBE MASAKI
分类号 H01L27/04;H01L21/336;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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