| 发明名称 |
DISPOSITIF DE MICRO-IMAGERIE DE RAYONNEMENTS IONISANTS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2689684(B1) |
申请公布日期 |
1994.05.13 |
| 申请号 |
FR19920003957 |
申请日期 |
1992.04.01 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
CUZIN MARC;JEUCH PIERRE |
| 分类号 |
G01T1/24;G01T1/29;H01L27/148;(IPC1-7):H01L27/146;H01L31/115;G01N23/00 |
主分类号 |
G01T1/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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