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发明名称 CONTACT HOLE BURIED STRUCTURE AND CONTACT HOLE BURYING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06132246(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920278825 申请日期 1992.10.16
申请人 NEC CORP 发明人 NIIZAWA TSUTOMU
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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