| 发明名称 |
VAPORIZER SUPPLIER FOR LIQUID RAW MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06132226(A) |
申请公布日期 |
1994.05.13 |
| 申请号 |
JP19910036707 |
申请日期 |
1991.02.05 |
| 申请人 |
RIN TEC:KK;APPLIED MATERIALS JAPAN KK |
发明人 |
ONO HIROFUMI;NISHISATO HIROSHI |
| 分类号 |
C23C16/44;B01F3/02;B01J3/02;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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