发明名称 GAS FEEDER IN MULTIPLE-GAS REACTION TYPE SURFACE PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH06132275(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920282812 申请日期 1992.10.21
申请人 ROHM CO LTD 发明人 KAIGAWA HIROYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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