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发明名称
GAS FEEDER IN MULTIPLE-GAS REACTION TYPE SURFACE PROCESSOR
摘要
申请公布号
JPH06132275(A)
申请公布日期
1994.05.13
申请号
JP19920282812
申请日期
1992.10.21
申请人
ROHM CO LTD
发明人
KAIGAWA HIROYUKI
分类号
H01L21/302;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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