发明名称 LSI MEASURING AUXILIARY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06130130(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920279741 申请日期 1992.10.19
申请人 NEC GUMMA LTD 发明人 KOBAYASHI DAICHI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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