发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06132243(A) 申请公布日期 1994.05.13
申请号 JP19920278728 申请日期 1992.10.16
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OTOMO ATSUSHI
分类号 H01L21/26;H01L21/28;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L29/784 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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