发明名称 SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 JPH06128737(A) 申请公布日期 1994.05.10
申请号 JP19920306200 申请日期 1992.10.20
申请人 MITSUBISHI KASEI CORP 发明人 UEDA TADAO;TAMAI HIROSHI;TAKEMURA KAZUNARI
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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