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经营范围
发明名称
SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号
JPH06128737(A)
申请公布日期
1994.05.10
申请号
JP19920306200
申请日期
1992.10.20
申请人
MITSUBISHI KASEI CORP
发明人
UEDA TADAO;TAMAI HIROSHI;TAKEMURA KAZUNARI
分类号
C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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