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发明名称 PRODUCTION OF POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号 JPH06127930(A) 申请公布日期 1994.05.10
申请号 JP19920308143 申请日期 1992.10.21
申请人 TONEN CHEM CORP;TOAGOSEI CHEM IND CO LTD 发明人 KOMATSU YOSHINORI;ISHII MASAAKI;TAKATSUNA KAZUTOSHI;SARUWATARI YASUHIRO;ISHIKAWA NOBUHIRO;HIROTA DAISUKE
分类号 C01B33/02;C01B33/029;C01B33/035;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
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