| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR GAS-DEPOSITING SUPERFINE PARTICLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06128728(A) |
申请公布日期 |
1994.05.10 |
| 申请号 |
JP19920304628 |
申请日期 |
1992.10.16 |
| 申请人 |
VACUUM METALLURGICAL CO LTD |
发明人 |
HAYASHI CHIKARA;KASHIYUU SEIICHIROU |
| 分类号 |
B01J2/00;C23C14/22;C23C14/24;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
B01J2/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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