发明名称 METHOD SYNTHESIZING DIAMOND
摘要
申请公布号 JPH06128086(A) 申请公布日期 1994.05.10
申请号 JP19920284276 申请日期 1992.10.22
申请人 IDEMITSU PETROCHEM CO LTD 发明人 KATSUMATA SATOSHI
分类号 C30B25/02;C23C16/27;C30B25/04;C30B25/18;C30B29/04;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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