发明名称 ALUMINUM MATERIAL AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06128753(A) 申请公布日期 1994.05.10
申请号 JP19920276041 申请日期 1992.10.14
申请人 MITSUBISHI ALUM CO LTD;MITSUBISHI CORP 发明人 CHIBA KAZUO;KATO TAKAYUKI;MIKASA KAZU;MIZOBUCHI SUNAO;HARADA MICHIYUKI
分类号 C23C22/68;H01L21/304;(IPC1-7):C23C22/68 主分类号 C23C22/68
代理机构 代理人
主权项
地址