发明名称 METHOD FOR GROWING SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH06128083(A) 申请公布日期 1994.05.10
申请号 JP19920277340 申请日期 1992.10.15
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 OZAWA SHOICHI;KIKUTA TOSHIO
分类号 C30B27/02;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B27/02 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
主权项
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