| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING BI-CONTAINING GARNET SINGLE CRYSTAL FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06122599(A) |
申请公布日期 |
1994.05.06 |
| 申请号 |
JP19920298156 |
申请日期 |
1992.10.12 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
OGI KATSUMI;SOYAMA NOBUYUKI;SUDO KAZUMI |
| 分类号 |
C30B7/14;C30B29/28;H01L21/36;(IPC1-7):C30B29/28 |
主分类号 |
C30B7/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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