| 发明名称 |
METHOD FOR INSPECTING SURFACE DEFECT AND ITS DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06123707(A) |
申请公布日期 |
1994.05.06 |
| 申请号 |
JP19920271708 |
申请日期 |
1992.10.09 |
| 申请人 |
FUJI XEROX CO LTD |
发明人 |
HIRONO AYUMI;MUNAKATA HIDEAKI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/952;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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