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发明名称 GAS PHASE GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06122591(A) 申请公布日期 1994.05.06
申请号 JP19920298188 申请日期 1992.10.12
申请人 KOMATSU DENSHI KINZOKU KK;KOMATSU LTD 发明人 MARUTANI SHINJI;KATO HIROKI;HINO KAZUHIKO;HISANAGA NAOTO;OCHI NOZOMI
分类号 C30B25/02;C30B25/14;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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