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发明名称 SLICING MACHINE
摘要
申请公布号 JPH06122118(A) 申请公布日期 1994.05.06
申请号 JP19920273085 申请日期 1992.10.12
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 ABE SEIICHI
分类号 H01L21/304;B28D1/22;B28D5/00;B28D5/02;(IPC1-7):B28D5/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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