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发明名称 VERTICAL SEMICONDUCTOR DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号 JPH06124912(A) 申请公布日期 1994.05.06
申请号 JP19920271675 申请日期 1992.10.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KONO TAKASHI
分类号 H01L21/22;H01L21/223;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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