发明名称 WIRING FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06124949(A) 申请公布日期 1994.05.06
申请号 JP19920271557 申请日期 1992.10.09
申请人 NEC CORP 发明人 SUGAI KAZUMI;NIIZAWA TSUTOMU;MORISHIGE YUKIO;KISHIDA SHUNJI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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