发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING SILICON SINGLE CRYSTAL AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH06122587(A) 申请公布日期 1994.05.06
申请号 JP19920297760 申请日期 1992.10.09
申请人 KOMATSU DENSHI KINZOKU KK 发明人 HIGO SHINJI
分类号 C30B15/00;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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