| 发明名称 |
PLASMA GENERATING METHOD IN ION IMPLANTATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06124673(A) |
申请公布日期 |
1994.05.06 |
| 申请号 |
JP19920294029 |
申请日期 |
1992.10.08 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NUKAYAMA MASAAKI;ANDO YASUNORI;TATEMICHI JUNICHI;MORIMOTO HIROSHI |
| 分类号 |
H01J27/16;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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