发明名称 PROCEDIMENTO E DISPOSITIVO PER LA FRANTUMAZIONE DI MATERIALE SEMICONDUTTORE.
摘要
申请公布号 ITRM940285(D0) 申请公布日期 1994.05.06
申请号 IT1994RM00285 申请日期 1994.05.06
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FURELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE 发明人 KOPPL FRANZ;SCHANTZ MATTHAUS
分类号 B02C19/06;H01L21/304 主分类号 B02C19/06
代理机构 代理人
主权项
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