Verfahren zur Herstellung von ätzresistenten Schutzlacken durch bevorzugtes Eindringen.,申请号DE19863689179T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung von ätzresistenten Schutzlacken durch bevorzugtes Eindringen.
摘要
申请公布号	DE3689179(T2)	申请公布日期	1994.05.05
申请号	DE19863689179T	申请日期	1986.05.27
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	CHIONG, KAOLIN, PLEASANTVILLE, N.Y. 10 570, US;YANG, BEA-JANE LIN, YORKTOWN HEIGHTS, N.Y. 10 598, US;YANG, JER-MING, YORKTOWN HEIGHTS, N.Y. 10 598, US
分类号	H01L21/302;G03F7/26;H01L21/3065;(IPC1-7):G03F7/26	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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