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发明名称 Detektorobjectiv für Rastermikroskope.
摘要
申请公布号 DE3888712(D1) 申请公布日期 1994.05.05
申请号 DE19883888712 申请日期 1988.01.22
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH, 85551 KIRCHHEIM, DE 发明人 ROSE, HARALD, PROF.DR., D-6100 DARMSTADT, DE;ZACH, JOACHIM, DIPL.-PHYS., D-6100 DARMSTADT, DE
分类号 H01J37/12;H01J37/14;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01J37/12
代理机构 代理人
主权项
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