发明名称 Verfahren zum Herstellen von elektrolumineszenten Siliziumstrukturen
摘要
申请公布号 DE4126955(C2) 申请公布日期 1994.05.05
申请号 DE19914126955 申请日期 1991.08.14
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人 RICHTER, AXEL, DIPL.-ING., 8000 MUENCHEN, DE;STEINER, PETER, 8898 SCHROBENHAUSEN, DE;LANG, WALTER, DR.-ING., 8000 MUENCHEN, DE
分类号 H01L21/306;H01L21/3063;H01L33/00;H01L33/34;H01L33/42;(IPC1-7):H01L33/00;H01L21/268 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址