发明名称 Vorrichtung zur Erfassung der Position eines Objektes
摘要
申请公布号 DE3700777(C2) 申请公布日期 1994.05.05
申请号 DE19873700777 申请日期 1987.01.13
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ISHIZUKA, KOH, KAWASAKI, KANAGAWA, JP;NISHIMURA, TETSUHARU, KAWASAKI, KANAGAWA, JP;KASAHARA, OSAMU, YOKOHAMA, KANAGAWA, JP
分类号 G01D5/38;(IPC1-7):G01D5/38;G01B11/02;G01B11/26;G01S17/06;H03M1/22 主分类号 G01D5/38
代理机构 代理人
主权项
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