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发明名称 Induktiv angeregte Ionenquelle.
摘要
申请公布号 DE3789478(D1) 申请公布日期 1994.05.05
申请号 DE19873789478 申请日期 1987.07.23
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 MUELLER, JUERGEN, DR., D-6000 FRANKFURT (MAIN) 50, DE
分类号 H01J27/16;(IPC1-7):H01J27/16 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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