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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Speicherzelle.
摘要
申请公布号 DE3884698(T2) 申请公布日期 1994.05.05
申请号 DE19883884698T 申请日期 1988.07.07
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL, PARIS, FR 发明人 JEUCH, PIERRE, F-38170 SEYSSINS, FR
分类号 H01L27/112;H01L21/28;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/10;H01L29/60 主分类号 H01L27/112
代理机构 代理人
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